Halbleiter- und LED-Industrie
Sensible Verfahren
Eine stabile Durchflussmessung und -regelung verbessert die Verfahrensbedingungen und führt zu einer höheren Produktqualität bei Wafern und Bildschirmen.
- Abscheidung von Schutzschichten auf Wafern
- Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD)
- Aomlagenabscheidung (ALD)
Durchflussregelung
Als exklusiver Bronkhorst-Partner sind wir in der Lage, höchst innovative, metallisch abgedichtete Durchflussinstrumente für direkte Flüssigkeitseinspritzsysteme auf dem österreichischen Markt anzubieten. Diese spielen eine entscheidende Rolle bei der Herstellung von LEDs mithilfe des MOCVD-Verfahrens.
Durchflussmessung
Unsere Geräte können für die Durchflussmessung von Flüssigkeiten, Gasen sowie für die Verdampfung eingesetzt werden. Für unsere Kunden ist es besonders herausfordernd, überkritische Fluide wie zum Beispiel Kohlendioxid zu messen, wenn sie sich in der Übergangsphase zwischen einem flüssigen und gasförmigen Zustand befinden. Für diese Anwendung eignen sich unsere Coriolis-Massendurchflussmesser.
